发明名称 DEFECT INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH063285(A) 申请公布日期 1994.01.11
申请号 JP19920162995 申请日期 1992.06.22
申请人 OMRON CORP 发明人 OGINO KENJI
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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