发明名称 ROLLING BEARING FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY
摘要
申请公布号 JPH05240258(A) 申请公布日期 1993.09.17
申请号 JP19920040849 申请日期 1992.02.27
申请人 NTN CORP 发明人 KONDO HIROMITSU;YAMADA HIROSHI
分类号 F16C33/32;F16C33/34;F16C33/62;(IPC1-7):F16C33/62 主分类号 F16C33/32
代理机构 代理人
主权项
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