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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05152451(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910342107 申请日期 1991.11.30
申请人 NEC CORP 发明人 KISHI SHUJI
分类号 H01L23/52;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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