发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05152355(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910336259 申请日期 1991.11.25
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 HARADA MASAOMI
分类号 H01L21/30;H01L21/52;H01L21/56 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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