| 发明名称 |
MEASURING APPARATUS OF LIGHT INTENSITY DISTRIBUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0560602(A) |
申请公布日期 |
1993.03.12 |
| 申请号 |
JP19910220422 |
申请日期 |
1991.08.30 |
| 申请人 |
TOPCON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAITO SUSUMU;SUZUKI HITOSHI;YOSHINO TOSHIKAZU;CHOKAI MASAKI;NISHISAKA TAKESHI;KUWABARA OSAMU;TOJO TORU;TABATA MITSUO |
| 分类号 |
G01J1/02;G01J1/42;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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