发明名称 MANUFACTURE OF GAAS INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0548026(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910199372 申请日期 1991.08.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAMURA AKIYOSHI
分类号 H01L21/265;H01L27/095;H01L29/20 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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