| 发明名称 |
EVALUATION OF BONDING STATE AND IMPURITY ON SURFACE OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0529423(A) |
申请公布日期 |
1993.02.05 |
| 申请号 |
JP19910205720 |
申请日期 |
1991.07.23 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
KUWABARA NOBORU;ABE TAKAO |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/30;G01N21/55 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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