| 发明名称 |
DATA HANDLING SYSTEM FOR A PATTERN GENERATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR920009373(B1) |
申请公布日期 |
1992.10.15 |
| 申请号 |
KR19840003249 |
申请日期 |
1984.06.09 |
| 申请人 |
AMERICAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT TECHNOLOGIES CORP. |
发明人 |
WELMERS, THOMAS E. |
| 分类号 |
B23K26/00;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H04N1/113;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
B23K26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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