发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0456232(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900170809 申请日期 1990.06.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 WATABE KIYOTO;KINOSHITA YASUSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址