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发明名称
摘要
申请公布号 DE3714598(C2) 申请公布日期 1992.01.09
申请号 DE19873714598 申请日期 1987.04.29
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ARAKAWA, TAKAHIKO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L27/092;H01L21/82;H01L21/8238;H01L27/118 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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