发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03266461(A) 申请公布日期 1991.11.27
申请号 JP19900065695 申请日期 1990.03.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ODA TAKESHI
分类号 H01L21/761;H01L21/76;H01L27/06;H01L29/861 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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