| 发明名称 |
A HIGH-RESOLUTION LITHOGRAPHIC METHOD OF MAKING MONOLITHIC INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0412326(A3) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
| 申请号 |
EP19900113668 |
申请日期 |
1990.07.17 |
| 申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
DEGIORGIS, GIORGIO |
| 分类号 |
G03F7/38;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/38 |
主分类号 |
G03F7/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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