VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON STRUKTUREN VON AUS METALLSILIZIDEN BZW. SILIZID-POLYSILIZIUM BESTEHENDEN SCHICHTEN FUER INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNGEN DURCH REAKTIVES IONENAETZEN.
摘要
申请公布号
DE3484572(D1)
申请公布日期
1991.06.20
申请号
DE19843484572
申请日期
1984.04.24
申请人
SIEMENS AG, 8000 MUENCHEN, DE
发明人
BEINVOGL, DR. RER. NAT., WILLY, W-8000 MUENCHEN 21, DE;HASLER, BARBARA, W-8035 STOCKDORF, DE
