MICROMECHANICAL ACTUATOR.

摘要

Actuateur micromécanique dont la partie mobile, par exemple une membrane ou une barre flexible, est mobile par rapport à une partie immobile par une combinaison de forces électromagnétiques et électrostatiques. Sont également décrites les techniques de production et les applications de cet actuateur, dont la structure est extrêmement compacte et intégrée.