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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING THIN FILM RESISTOR AND METHOD OF PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 EP0350961(A3) 申请公布日期 1991.01.16
申请号 EP19890112987 申请日期 1989.07.14
申请人 NIPPONDENSO CO., LTD. 发明人 IIDA, MAKIO;MIURA, SHOJI;TERADA, KANEMITSU;BAN, HIROYUKI;YAMAMOTO, KIYOSHI;ODA, KATSUYOSHI;ISOBE, YOSHIHIKO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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