| 发明名称 |
THIN FILM FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02222134(A) |
申请公布日期 |
1990.09.04 |
| 申请号 |
JP19890041891 |
申请日期 |
1989.02.23 |
| 申请人 |
MIKOSHIBA NOBUO;TSUBOUCHI KAZUO |
发明人 |
MIKOSHIBA NOBUO;TSUBOUCHI KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
