发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02170528(A) 申请公布日期 1990.07.02
申请号 JP19880324925 申请日期 1988.12.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAGAMI SHOICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8238;H01L21/8244;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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