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发明名称 SENSOR
摘要
申请公布号 JPH02159589(A) 申请公布日期 1990.06.19
申请号 JP19880313316 申请日期 1988.12.12
申请人 OSAKA PREFECTURE;DAIHEN CORP 发明人 KUSAKA TADAOKI;SUZUKI YOSHIHIKO;YOTSUYA TAKASHI;OGAWA SOICHI;AOYAMA TAKAHIRO;MIYAKE SHUJI
分类号 G01K7/16;G01D21/00;G01R33/035;G01R33/06;H01L39/00 主分类号 G01K7/16
代理机构 代理人
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