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发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH02152236(A) 申请公布日期 1990.06.12
申请号 JP19880306469 申请日期 1988.12.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONOE JUN;YAMAMOTO HIROSHI;YANO KOSAKU;FUJITA TSUTOMU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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