| 发明名称 |
APPARATUS FOR POLYMERIZATION OF THIN ORGANIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02133402(A) |
申请公布日期 |
1990.05.22 |
| 申请号 |
JP19880285777 |
申请日期 |
1988.11.14 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
SHIMANOE NORITAKE;SAKASHITA MASAO |
| 分类号 |
B01D67/00;C08F2/00;C08F2/46;C08F2/48;C08J5/18 |
主分类号 |
B01D67/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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