发明名称 INSPECTION SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0259651(A) 申请公布日期 1990.02.28
申请号 JP19880210997 申请日期 1988.08.25
申请人 HOYA CORP 发明人 MIZUKOSHI YASUHIRO
分类号 G01N21/88;G01M11/00;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G01N21/958 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址