发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0243738(A) 申请公布日期 1990.02.14
申请号 JP19880194124 申请日期 1988.08.03
申请人 SHARP CORP 发明人 HIKITA TOMOYUKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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