发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0216734(A) 申请公布日期 1990.01.19
申请号 JP19880167401 申请日期 1988.07.05
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 BABA SEIICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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