发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF SEMICONDUCTOR AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH01317188(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880148193 申请日期 1988.06.17
申请人 NKK CORP 发明人 HORIE SHIGETOSHI;SUZUKI MAKOTO;NAKAHAMA YASUMITSU
分类号 C30B15/12;C30B15/14;H01L21/208 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
主权项
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