发明名称 DEVICE FOR COOLING INTEGRATED CIRCUIT CHIP
摘要
申请公布号 JPH01292848(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880121728 申请日期 1988.05.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJITA YUJI;MIZUISHI KENICHI
分类号 H01L23/473;H01L23/46 主分类号 H01L23/473
代理机构 代理人
主权项
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