发明名称 AUTOMATIC FOCUSING CIRCUIT OF ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH01255142(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880080702 申请日期 1988.04.01
申请人 NICHIDENSHI TEKUNIKUSU:KK 发明人 AKATSUCHI SHIZUSHI
分类号 H01J37/04;H01J37/21 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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