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发明名称 FORMATION OF WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01253916(A) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 JP19880081506 申请日期 1988.04.01
申请人 NEC CORP 发明人 KUMAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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