发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01101670(A) 申请公布日期 1989.04.19
申请号 JP19870260009 申请日期 1987.10.15
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SHIKADA SHINICHI
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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