| 发明名称 |
RAPID COOLING TYPE HEAT TREATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6455821(A) |
申请公布日期 |
1989.03.02 |
| 申请号 |
JP19870213515 |
申请日期 |
1987.08.26 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
IZEKI IZURU;AZUMA AKIHIRO;SASAKI KIYOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/46;C30B31/12;C30B31/16;C30B31/18;C30B33/00;F27B5/16;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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