发明名称 ASSEMBLY SYSTEM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6448431(A) 申请公布日期 1989.02.22
申请号 JP19870206160 申请日期 1987.08.18
申请人 SONY CORP 发明人 ONDA KEIICHIRO;UCHIKOBA SATOSHI
分类号 H01L21/52;H01L21/50;H01L21/68;H01L23/50 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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