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发明名称 ARRANGEMENT FOR CARRYING OUT A PROCESS FOR POSITIONING A STRUCTURE IMAGE OF A MASK ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0250391(A3) 申请公布日期 1988.12.28
申请号 EP19870890102 申请日期 1987.05.15
申请人 IMS IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 LOSCHNER, HANS, DR.;STENGL,GERHARD, DR.
分类号 G03F9/00;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/317 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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