发明名称 FOERFARANDE FOER REALTIDSKONTROLL AV ETSNINGENS SELEKTIVITET GENOM ANALYS AV PLASMAGASERNA VID EN REAKTIV JONETSNINGSPROCESS OCH EN REAKTOR FOER DETTA AENDAMAOL.
摘要
申请公布号 FI883844(A0) 申请公布日期 1988.08.19
申请号 FI19880003844 申请日期 1988.08.19
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET/L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 RUFIN, DENIS;HIRASE, IKUO
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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