发明名称
摘要
申请公布号 JPS63112335(U) 申请公布日期 1988.07.19
申请号 JP19870002424U 申请日期 1987.01.13
申请人 发明人
分类号 H01L31/12;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L31/12
代理机构 代理人
主权项
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