发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6392045(A) 申请公布日期 1988.04.22
申请号 JP19860236230 申请日期 1986.10.06
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMABE KIKUO
分类号 H01L21/31;H01L21/76 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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