发明名称 Arrangement for positioning and synchronizing a writinglaser beam.
摘要 <p>Entlang von wenigsten zwei Rändern des Chips (1) erstreckt sich ein erster Eintrittscode (4), der mit einer Synchronisationsstruktur (5) und einer Schritterkennungsstruktur (6) besteht. Senkrecht zu diesem Eintrittscode (4) verläuft in der Richtung zu der Ecke (14) eines Rahmens (11, 11') ein Einfädelcode (7). Innerhalb des Rahmens (11, 11') befindet sich eine Logik (12). Der Rahmen (11, 11') ist am Rande mit einem zweiten Eintrittscode (13) versehen. Diese Lösung weist den Vorteil auf, dass das Laserschreibverfahren mittels eines Laser-Pattern-Generators noch präziser und schneller durchgeführt werden kann, wobei die Programmierzeit auch bei einer kleinen Zahl von Chips ausreichend wirtschaftlich ist. Die Vorrichtung und das Verfahren ist selbstverständlich auch für die Herstellung von Chips in grösseren Stückzahlen geeignet. Die Erkennungsmuster des Chips (1) erfüllen die Bedingung, dass sie in bezug auf die anderen Oberflächenteile des Chips die Laserstrahlen verschieden stark reflektieren.</p>
申请公布号 EP0262088(A1) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 EP19870810500 申请日期 1987.09.01
申请人 LASARRAY HOLDING AG 发明人 KEMPTER, MEINRAD;DOERING, ELKO
分类号 H01L21/02;B23K26/042;G06K7/015;H01L21/027;H01L21/30;H01L23/544;(IPC1-7):H01L23/54;B23K26/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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