| 发明名称 |
POLYSILANE PHOTORESIST MATERIALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU570883(B2) |
申请公布日期 |
1988.03.24 |
| 申请号 |
AU19850040016 |
申请日期 |
1985.03.15 |
| 申请人 |
UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY, |
发明人 |
LARRY A. HARRAH;JOHN M. ZEIGLER |
| 分类号 |
G03F7/26;C08G77/00;C08G77/48;C08G77/60;G03C5/00;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/36;H01L21/30;(IPC1-7):C08G77/60;C08J5/18;C08L83/16;G03C1/495;G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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