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发明名称
摘要
申请公布号 JPS634335(B2) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19800082637 申请日期 1980.06.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HONJO KATSUHIKO;TAGI HIROMITSU;SATO NORYA;OGAWA MAKOTO;KURODA SHOJI;KUGUHARA KUSUO;HOASHI HIROYUKI;HASEGAWA KENICHI
分类号 H01C7/00;C23C18/31;H01C17/28;H01G4/012;H01G4/12;H01L21/283;H01L21/288;H01L41/22 主分类号 H01C7/00
代理机构 代理人
主权项
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