| 发明名称 |
FOTOELEKTRISCHE MESSEINRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3616144(A1) |
申请公布日期 |
1987.11.19 |
| 申请号 |
DE19863616144 |
申请日期 |
1986.05.14 |
| 申请人 |
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH |
发明人 |
ERNST,ALFONS,DIPL.-ING. |
| 分类号 |
G01B11/00;G01D5/36;G01D5/38;(IPC1-7):G01B11/02;G02B27/60;H01L27/14 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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