| 发明名称 |
POSITIONEERINRICHTING MET EEN Z-MANIPULATOR EN EEN O-MANIPULATOR. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8600785(A) |
申请公布日期 |
1987.10.16 |
| 申请号 |
NL19860000785 |
申请日期 |
1986.03.27 |
| 申请人 |
ASM LITHOGRAPHY B.V. TE VELDHOVEN EN N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F9/00;B23Q1/00;B23Q1/36;B23Q1/48;G03F7/20;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):G03F9/00;B25J7/00;G02B21/32 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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