发明名称 |
PREPARATION DE SILICIUM PAR DEGRADATION DE POLYMERES |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2486057(B1) |
申请公布日期 |
1987.06.12 |
申请号 |
FR19810013226 |
申请日期 |
1981.07.06 |
申请人 |
DOW CORNING CORP |
发明人 |
JOHN HENRY GAUL JR ET DONALD RICHARD WEYENBERG;WEYENBERG DONALD RICHARD |
分类号 |
C01B33/02;C01B33/021;C01B33/027;C01B33/107;C23C16/24;C23C20/04;H01L31/04;(IPC1-7):C01B33/02;C23C11/06 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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