发明名称 PREPARATION DE SILICIUM PAR DEGRADATION DE POLYMERES
摘要
申请公布号 FR2486057(B1) 申请公布日期 1987.06.12
申请号 FR19810013226 申请日期 1981.07.06
申请人 DOW CORNING CORP 发明人 JOHN HENRY GAUL JR ET DONALD RICHARD WEYENBERG;WEYENBERG DONALD RICHARD
分类号 C01B33/02;C01B33/021;C01B33/027;C01B33/107;C23C16/24;C23C20/04;H01L31/04;(IPC1-7):C01B33/02;C23C11/06 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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