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发明名称 NEGATIV-ARBEITENDE LICHTEMPFINDLICHE ZUSAMMENSETZUNG, VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG UND IHRE VERWENDUNG
摘要
申请公布号 DE3636697(A1) 申请公布日期 1987.05.07
申请号 DE19863636697 申请日期 1986.10.28
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD. 发明人 ITO,NAOKI;HASHIMOTO,KOICHIRO;ISHII,WATARU;NAKANE,HISASHI
分类号 G03F7/012;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26;G03C1/72;H01L21/312 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
主权项
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