| 发明名称 |
WAFER TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6296673(A) |
申请公布日期 |
1987.05.06 |
| 申请号 |
JP19860249783 |
申请日期 |
1986.10.22 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
FUREDERITSUKU TOOMASU TAANAA;MAACHIN ARUBAATO HATSUCHINSON;REIMONDO HAWAADO SHIYOU;ROORENSU TAANAA RAMONTO JIYUNIA |
| 分类号 |
B65G49/07;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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