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发明名称 FOCUSED ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6266546(A) 申请公布日期 1987.03.26
申请号 JP19850207017 申请日期 1985.09.18
申请人 JEOL LTD 发明人 OSAKI MITSUAKI;SAKUMA YOSHIZO
分类号 G21K1/00;G21K1/087;G21K5/00;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/317;H05H7/00 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
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