发明名称 |
DEPOSITING A SILICON DIOXIDE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2179371(A) |
申请公布日期 |
1987.03.04 |
申请号 |
GB19860017274 |
申请日期 |
1986.07.16 |
申请人 |
* NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
HIROTSUGU * NAGAYAMA;HISAO * HONDA;HIDEO * KAWAHARA |
分类号 |
C23C18/12;C01B33/12;C02F1/58;C03C15/00;C23C2/04;C23C18/00;(IPC1-7):C23C18/12;C03C17/25 |
主分类号 |
C23C18/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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