发明名称 DEPOSITING A SILICON DIOXIDE FILM
摘要
申请公布号 GB2179371(A) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 GB19860017274 申请日期 1986.07.16
申请人 * NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 HIROTSUGU * NAGAYAMA;HISAO * HONDA;HIDEO * KAWAHARA
分类号 C23C18/12;C01B33/12;C02F1/58;C03C15/00;C23C2/04;C23C18/00;(IPC1-7):C23C18/12;C03C17/25 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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