NEUTRALIZADOR DE HAZ DE IONES Y UN SISTEMA DE IMPLANTACION DE IONES QUE LO UTILIZA.

摘要

UNA IMPLANTACION DE IONES QUE CARACTERIZA UN NEUTRALIZADOR DE HAZ MEJORADO. UNA FUENTE CILINDRICA DE ELECTRONES RODEA EL HAZ DE IONES EN UNA UBICACION JUSTO ANTES DE QUE EL HAZ DE IONES ENTRE EN UNA CAMARA DE IMPLANTACION. LAS CAVIDADES SEPARADAS DE FORMA REGULAR EN LA FUENTE DE ELECTRONES CONTIENEN FILAMENTOS DE ALAMBRE QUE SE ENERGIZAN PARA QUE EMITAN ELECTRONES. LOS ELECTRONES SE ACELERAN A TRAVES DE LA ZONA DEL HAZ DE IONES Y HACEN IMPACTO EN UNA PARED ORIENTADA HACIA EL INTERIOR DEL SOPORTE CILINDRICO DE ELECTRONES. ESTO PROVOCA EMISIONES DE ELECTRONES DE BAJA ENERGIA QUE NEUTRALIZAN EL HAZ DE IONES. EL RENDIMIENTO DEL NEUTRALIZADOR DEL HAZ SE INCREMENTA INYECTANDO UN GAS IONIZABLE EN LA ZONA SITUADA ENTRE LA SUPERFICIE EMISORA DE ELECTRONES Y EL HAZ DE IONES.