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发明名称 VERFAHREN ZUR INTRINSIC-GETTERUNG IN SAUERSTOFFREICHEN SILIZIUM-SCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD239491(A1) 申请公布日期 1986.09.24
申请号 DD19850278715 申请日期 1985.07.18
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK,"KARL MARX" ERFURT,,,DD 发明人 NITZSCHE,WALTER,DD;KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD;KLOSE,HOLGER,DD;REICHE,MANFRED,DD;BABANSKAJA,IRINA,DD
分类号 H01L21/322;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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