| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6175529(A) |
申请公布日期 |
1986.04.17 |
| 申请号 |
JP19840197904 |
申请日期 |
1984.09.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SEKINE MAKOTO;OKANO HARUO;HORIIKE YASUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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