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发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER PLACING STAND
摘要
申请公布号
JPS6122644(A)
申请公布日期
1986.01.31
申请号
JP19840143611
申请日期
1984.07.09
申请人
MITSUBISHI DENKI KK
发明人
SAKAGAMI KIYOSHI;SAKURAI HIROMI
分类号
H01L21/683;H01L21/67;H01L21/68
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
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