| 发明名称 |
VACUUM PROCESSING APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2156859(A) |
申请公布日期 |
1985.10.16 |
| 申请号 |
GB19850005143 |
申请日期 |
1985.02.28 |
| 申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
OSAMU * KAMIYA;YASUTOMO * FUJIYAMA;KYOSUKE * OGAWA;TAKASHI * KUROKAWA |
| 分类号 |
C23C16/50;B01J3/00;C23C14/56;C23C16/54;C23F4/00;G03G5/08;G03G5/082;H01J37/18;(IPC1-7):C23C16/54 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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