| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING FLATTENED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0123560(A3) |
申请公布日期 |
1985.04.03 |
| 申请号 |
EP19840302797 |
申请日期 |
1984.04.25 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
HIGASHIKAWA, IWAO C/O PATENT DIVISION;ARIKADO, TSUNETOSHI C/O PATENT DIVISION |
| 分类号 |
H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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